Катуу каптоо үчүн гибриддик PVD машина
Негизги жабуулар
| Каптоо | Катуулугу hv | сүрүлүү коэффициенти | Коррозияга каршылык | Аюуга каршылык | Кызматтын максималдуу температурасы C | Түс |
| TiN (титан нитриди) | 2200 | 0.5 | Жакшы | Мыкты | 525 | Алтын |
| TiN –LT (Төмөн температурадагы титан нитриди) | 2200 | 0.5 | Жакшы | Мыкты | 525 | Алтын |
| TiCN (титан карбонитриди) | 3000 | 0.4 | Жарманке | Мыкты | 400 | Violet |
| AlTiN (алюминий титан нитриди) | 3600 | 0.6 | Жакшы | Мыкты | 750 | Кара |
| CrN (хром нитриди) | 2400 | 0.5 | Мыкты | Жакшы | 700 | Күмүш боз |
| ZrN (цирконий нитриди) | 2500 | 0.5 | Жакшы | Мыкты | 600 | Light Gold |
Негизги өзгөчөлүктөрү
1. PVD каптоо камерасы дат баспас уурулуктан жасалган алдыңкы эшиктин куту түрүндөгү структурасы.
2. Каптоочу камеранын жана жумушчу тетиктердин октун өлчөмүнүн спецификациясы каптоо муктаждыктарынын жалпы талаптарына жооп берет.
3. Arc булагы өнүккөн жана ишенимдүү
4. Цилиндрдик же тегиздик магнетрондук чачкычтар бар
5. PLC автоматтык же кол менен башкаруу жеткиликтүү
Колдонмо
PVD каптоочу машинаны иштетүү үчүн сизге керек болот:
Муздаткыч суу: Температура диапазону 15-28 Цельсий, муздаткыч көлөмү: 5p-15p
Компрессор: резервуардын көлөмү: 0,5-2/куб
Электр энергиясы: PVD машинасынын көлөмүнө жараша 80 ~ 150квадан кем эмес.
Металл бөлүктөрүн алдын ала тазалоо үчүн:
1. УЗИ кир жуугуч машина
2. Таза суу машинасы же/эгер суу таза болсо, 1-2 тонна/саат
3. Субстраттардын (продукциялардын) бети таза, кургак болушу керек
4. Оператор: Белгиленгендей кубаттуулугу: 1 - 2 оператор
Процесс үчүн:
1. Чийки зат: максаттуу материалдар
2. Газдар: A2, N2, O2, C2H2 ж.б
3. Бардык газ цистерналарына басымды төмөндөтүүчү клапандар жана газ түтүктөрү, бириктиргичтери керек
4. Насос майы жана башка буюмдар жана башка тетиктер запастык бөлүктөрдүн тизмеси
