Inline Sputtering System
-
Inline Magnetron Sputtering системасы
Inline Magnetron Sputtering системасы ар кандай максаттарда иштеген вакуумдук жука пленканы түшүрүү жабдыктарынын бир түрү.Биздин чачыратуу линиябыздын эң кеңири таралган колдонмолору:
Алюминий күзгү өндүрүү
- ITO айнек каптоо
- Чагылууга каршы айнек
- Дат баспас болоттон жасалган жана айнек үчүн кооздук каптамалар
Бул каптоо системасы жогорку класстагы вакуумдук каптоо үчүн ылайыктуу.Бул вакуумдук каптоочу пленкалардын сапатын жакшыртуу үчүн туруктуу иш көрсөткүчтөрүн чыгарат.
-
ITO Glass Magnetron Sputtering Coating Line
ITO Glass Magnetron Sputtering Coating Line SO2/ITO катмары менен жогорку сапаттагы калкыма айнекти каптоо үчүн вакуумдук магнетронду чачуу технологиясын жана тең салмактуу эмес магнетрон чачуу технологиясын колдонот.Эл аралык өнүккөн башкаруу системасынын негизинде.Бардык өндүрүш процесси автоматтык түрдө жана үзгүлтүксүз иштейт.
-
Алюминий Mirror Inline Magnetron Sputtering Line
Aluminium Mirror Inline Magnetron Sputtering Line айнек күзгү өндүрүшүнүн жогорку өндүрүшү үчүн иштелип чыккан.Чоңураак айнекти каптоо жана морт айнек панелине кам көрүү үчүн, айрыкча чоң өлчөмдөгү барактар үчүн, биз адатта горизонталдуу түрдөгү чачыраткыч линияны жасайбыз.Бул үзгүлтүксүз магнетрондук каптоо линиясы, алдыңкы жана арткы орой насостук камерасы жана өткөөл камерадан кийин, жакшы насостук камерадан мурун жана кийин, буфердик камера, түстүү каптоочу бөлмө.
Максаттуу долбоор: цилиндрдик магнетрондук чачыраткыч катоддор же/же тегиз катоддор.
Кубат булагы: жогорку кубаттуулуктагы DC же MF магнетрондук чачыратуу менен электр менен камсыздоо
Drive системасы: ролик диск, жыштыгы жөнгө, индукциялык түрү бөлмө эшикти ачуу системасы.
Вакуум системасы: диффузиялык насос (же турбомолекулярдык насос) + тамыр насосу + механикалык насос
