Inline Magnetron Sputtering системасы

Кыска сүрөттөмө:

Inline Magnetron Sputtering системасы ар кандай максаттарда иштеген вакуумдук жука пленканы түшүрүү жабдыктарынын бир түрү.Биздин чачыратуу линиябыздын эң кеңири таралган колдонмолору:

Алюминий күзгү өндүрүү

ITO айнек каптоо
Чагылууга каршы айнек
Дат баспас болоттон жасалган жана айнек үчүн кооздук каптамалар

Бул каптоо системасы жогорку класстагы вакуумдук каптоо үчүн ылайыктуу.Бул вакуумдук каптоочу пленкалардын сапатын жакшыртуу үчүн туруктуу иш көрсөткүчтөрүн чыгарат.

Бизге электрондук кат жөнөтүү

Продукт чоо-жайы

Продукт тегдери

Inline магнетрон чачуучу каптоочу машина негизинен DC (же MF) магнетронду чачыратуу каптоо максаттардын кеңири диапазонуна ылайыкташтырылышы мүмкүн, мисалы: жез, титан, хром, дат баспас болот, никель жана башка металл материалдар, аларды чачыратуу процесси аркылуу каптоого болот. пленканын адгезиясын, кайталанышын, тыгыздыгын, бирдейлигин жана башка мүнөздөмөлөрүн жакшыртат.

а.Негизги мүнөздөмөлөрү жана параметрлери
б.горизонталдуу сызык структурасы бир тарапка капталган бир эле учурда ишке ашырылышы мүмкүн
в.өндүрүштүн эффективдүүлүгү, эң ылдам ылдамдыгы 1 мүнөткө чейин
г.модулдук дизайн, жеңил тейлөө
д.каптоо процессинин жетилгендиги, жогорку түшүмдүүлүк
f.DC магнетрон чачыраткыч катоддор кардарлардын талаптарына жараша өзгөрүшү мүмкүн
г.вакуум системасы механикалык насостон турат, тамыр насостору, диффузиялык насостор (молекулярдык насос) Курамы
ч.Line дене өлчөмү кардарлардын талаптарына жараша өзгөрүшү мүмкүн

1) Вакуумдук камеранын корпусунун материалдары SUS304 колдонулган, вакуумдук камеранын дубалын жылтыратып, сырткы дубалдын брызги жылтыраткычтарын иштетүү.
2) Вакуумдук камеранын ортосундагы көз карандысыз дарбаза клапанын колдонуу - клапан клапаны өзүнчө, эффективдүү кесип, процесс газын турукташтыра алат.Азыркы учурда биздин компания клапан клапанынын дизайнын кабыл алат, ал учурдагы ички клапан клапанына караганда жакшыраак, бышык мөөр басат.
3) Трансмиссия магниттик жолду колдонот, дисктин туруктуулугун коргойт.VVVF кыймылдаткычын колдонуу менен бүт өндүрүш линиясынын ар бир ылдамдыгы үчүн чуркоо ылдамдыгын жөнгө салууга болот.
4) Электр башкаруу системасы: сенсордук экран жана PLC автоматтык башкаруу, маалымат дисплей системасын жетүү үчүн адам-машина диалог, иштетүү параметрлери жана башкаруу технологиясы
1) Эң жогорку вакуумдук басым: 6 × 1 0E-4 Па
2) өндүрүштүн орточо цикли: аныкталган продукцияга ылайык
3) субстрат ээси Өлчөмү: талаптарына ылайык ылайыкташтырылышы мүмкүн
4) Фильмдин бирдейлиги: ± 3% өнүккөн мобилдик талаа технологиясы максаттуу пайдаланууну бир топ жакшыртты
Сегменттелген жылыткычтын дизайны процессти оптималдаштырууга ыңгайлуу.