-Бир/эки эшик
Frame жана камера көмүртек баспас болоттон жасалган.
Ар бир эшик процессти визуалдык башкаруу үчүн текшерүү терезесин камсыз кылат.Эшиктин дубалдары дат баспас болоттон жасалган каптаманы камсыз кылат, аны тейлөө үчүн оңой алып салууга болот.
- Ыңгайлаштырылган вакуумдук камера
Камера тазалоо үчүн дат баспас болоттон жасалган ички лайнерлерди оңой алып салууну камсыз кылат.
Насостор анын арткы бөлүгүндө турат.
Камерада өлчөө максатында бир катар кичинекей фланецтер бар.
- Жогорку вакуумдук насостук системасы
Диффузия насосу+Бостер насос+Механикалык насос
-вакуумдук өлчөө жана контролдоо
Металл Пирани өлчөгүч + металл иондоштуруу өлчөгүч менен
- Аспаптарды кыймылдатуу системасы
-PLC башкаруу бирдиги
- жогорку кубаттуулуктагы трансформатор менен алюминий буулантуу системасы
- Темир каркас
структурасы акылга сыярлык
Пленка катмары бирдей
Тасманы түзүүчү сапат
Жогорку насостук ылдамдыгы, кыска жумушчу цикл жана жогорку өндүрүштүн натыйжалуулугу
Операция ыңгайлуу
Төмөн энергия керектөө жана туруктуу аткаруу
Модель номери | EV-1000 | EV-1200 | EV-1400 | EV-1800 | EV-2000 | Эки эшик же эки камералуу модели бар | |
Вакуумдук камеранын өлчөмү (диаметри * бийиктиги) | 1000*1100 | 1200*1400 | 1400*1600 | 1800*2000 | 2000*2200 | ||
Вакуумдук камеранын материалы | Көмүртек болот, SUS304 же SUS316L | ||||||
Иштөө технологиясы | вольфрам жана алюминий жиптери менен вакуумдук каршылыктын буулануусу, жогорку кубаттуулуктагы буулантуучу трансформатор | ||||||
Насос системасы | Диффузиялык насос+механикалык насостор, күчөтүүчү насос | ||||||
Насос убактысы | Атмосферадан 5,0*10-2Па чейин 8 мүнөткө жетпейт | ||||||
Вакуум чеги | 5,0*10-4 Па | ||||||
Иштөө температурасы | Бөлмө температурасы | ||||||
Иштөө режими | Автоматтык же Кол режими, 10,4 дюймдук PLC экранга тийет | ||||||
Жалпы күч | 40-80кВт | 70-140кВт | |||||
Из | 2*2 метр | 2*3 метр | 3*3 метр | 3*3 метр | 3*4 метр | 4*5 метр | 5*6 метр |
Бул бирдиктерди сиз жекече жасай аласыз | 1. Вакуумдук камеранын өлчөмү 2. Насостордун конфигурациялары | ||||||
Кошумча аспаптар | 1. Агуунун детектору 3. Арк иондорунун тутуму 4. Магнтрон чачыратуу системасы |